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日本sodick-ft机床控制空气滑块XYθ轴舞台

日本sodick-ft机床控制空气滑块XYθ轴舞台
舞台配备了索迪克制造的直线电机和直线放大器，用于索迪克制造的线切割机床和超精密加工中心。

  • 产品型号：
  • 厂商性质：经销商
  • 更新时间：2025-10-28
  • 访  问  量：15
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详细介绍

日本sodick-ft机床控制空气滑块XYθ轴舞台
日本sodick-ft机床控制空气滑块XYθ轴舞台

舞台配备了索迪克制造的直线电机和直线放大器，用于索迪克制造的线切割机床和超精密加工中心。

精密陶瓷

空气滑块XYθ轴舞台

  • θ轴采用黑色科赛石
    • 用于光化学系统装置的反射率降低，以及舞台机构的定位精度提升。
  • 低重心
    • 通过独特的机构设计实现低重心结构，固定部分质量比大，移动部分重心驱动，提供高运动性能。
  • 低热膨胀、轻量化
    • 在台面部分、滑块部分采用科赛石，直线电机、磁铁预加载采用低热膨胀金属。长时间运行不会出现位移。
  • 位置偏差5nm以下
    • 使用自制直线电机和运动控制器，与舞台进行优化匹配。

舞台规格

  • 外形尺寸：W600mm × D550mm × H235mm（陶瓷部件尺寸）
  • 总重量：约104kg（陶瓷结构部件+直线电机）
  • 移动部分质量：
    • θ轴：约14kg
    • X轴：约19kg
    • Y轴：约35kg
    • 床身部分：约36kg
  • θ轴规格：
    • 材料：黑色科赛石（热膨胀率1×10⁻⁶以下）
    • 外形尺寸：300×300
    • 精度：平面度2μm以下、位置偏差：5nm以下
  • 行程：
    • X轴：最大120mm
    • Y轴：最大160mm
    • θ轴：±4mm
  • 垂直方向直线度：
    • X轴：0.5μm / 100mm以下
    • Y轴：0.5μm / 100mm以下
  • 水平方向直线度：
    • X轴：0.5μm / 100mm以下
    • Y轴：0.5μm / 100mm以下
  • 垂直度：0.5μm以下
  • 平面度：
    • X轴 浮上时：5μm / 非浮上时：3μm以下
    • Y轴 浮上时：5μm / 非浮上时：3μm以下
  • 进给速度：0.1m / sec·加速度0.25m / sec²
  • 舞台位置偏差：P-P：5nm以下 / σ:1nm以下
  • 位置检测方式：
    • X轴：海德汉制造的直线编码器（上轴）
    • Y轴：海德汉制造的直线编码器（下轴）
  • 精度测量环境：
    • 温度：23℃±1℃
    • 湿度：50~60%
  • 科赛石：
    • 热膨胀系数：0.1×10⁻⁶℃（20~25℃）
    • 比重：2.5


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