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日本shuwaind秀和 晶圆精密抛光钻石研磨液

日本shuwaind秀和 晶圆精密抛光钻石研磨液
Shuwa Industrial 的钻石抛光液(Diamond Polishing Liquid)主要用于半导体晶圆的精密抛光工艺,适用于硅(Si)、碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)等材料,能够实现镜面级抛光效果,表面粗糙度 Ra ≤ 0.01 µm 。

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  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-01-07
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详细介绍

日本shuwaind秀和 晶圆精密抛光钻石研磨液

日本shuwaind秀和 晶圆精密抛光钻石研磨液

Shuwa Industrial 的钻石抛光液(Diamond Polishing Liquid)主要用于半导体晶圆的精密抛光工艺,适用于硅(Si)、碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)等材料,能够实现镜面级抛光效果,表面粗糙度 Ra ≤ 0.01 µm 。
该产品通常与抛光垫(Polishing Pad)配合使用,通过化学机械抛光(CMP)工艺去除晶圆表面的氧化层、介质层(ILD)和金属层(如Cu、W),确保表面平整度和低缺陷率,从而提高芯片的良品率和性能 。
此外,Shuwa Industrial 的钻石抛光液支持多种纳米级粒径选择,适用于不同材料和工艺需求,特别是在第三代半导体材料(如SiC和GaN)的超精密加工中表现好


Render金刚石研磨液长期以来一直用于陶瓷和超硬金属的高精度、高效率研磨加工。我们可根据客户的需求,定制生产原创的研磨剂・金刚石研磨液。
■ 特点
展现原创性
我们可根据客户的各种需求,定制生产原创的金刚石研磨液。欢迎随时咨询。
值得信赖的稳定性
通过将严选出的金刚石以独特方式与研磨液混合,提高了分散效果,使供给到研磨盘上的金刚石量始终保持稳定。
优异的润滑性
润滑性能出色,可实现令人满意的镜面精度。
■ 可从丰富类型中选择
通过类型、粒度等级、金刚石种类、集中度四种组合,为您定制原创研磨液。请从A~D中各选一种。
A. 类型
  • IRIS(水溶型)
    适用于各类化合物半导体晶圆,分散性优异,可实现低损伤镜面加工。
  • SP-1107(水溶型)
    在陶瓷、GaN、SiC 等方面拥有丰富实绩,兼顾面精度与研磨速率的研磨液。
  • TE-0531(油溶型)
    新型油剂,分散性更佳。
    以上为典型代表,此外还备有20多种型号供不同用途选择。
B. 粒度等级
C. 金刚石种类
  • 单晶
  • 多晶
D. 集中度
  • 常规(Regular)
  • 高浓度(Strong)
  • 超高浓度(Super Strong)


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