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日本kaijo晶圆液晶面板高频超声波清洗机

日本kaijo晶圆液晶面板高频超声波清洗机
面向半导体、液晶、HDD等制造领域的无损伤精密清洗设备,通过750kHz/950kHz超高频兆声波技术,在去除纳米级微粒的同时不损伤基板表面

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-01-30
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详细介绍

日本kaijo晶圆液晶面板高频超声波清洗机

日本kaijo晶圆液晶面板高频超声波清洗机

产品名称

ハイメガソニック クオーバ洗浄機(Hi-Mega Sonic Quauva清洗机)
英文名称:High-Megasonic Quauva Cleaning System



技术原理

高频超声波清洗(メガソニック洗浄 / Megasonic Cleaning)

核心特点

参数规格
工作频率750 kHz / 950 kHz(兆声波频段)
清洗机制主要依靠声流加速度进行清洗
空化现象几乎不产生空化(Cavitation-free)
损伤控制无空化侵蚀(无Erosion/Damage)
均匀性无驻波造成的清洗不均(Standing wave-free)

技术优势

■ 清洗原理差异

普通超声波本设备(兆声波)
依赖空化气泡破裂产生冲击力依赖高频声流加速度带动液体流动
可能损伤精密表面零损伤清洗
易产生驻波导致的清洗条纹均匀无条纹清洗

■ 应用领域

  • 半导体晶圆(Si Wafer)的纳米颗粒去除
  • 液晶面板(LCD Glass)精密清洗
  • HDD硬盘(磁头、盘片)微粒去除
  • 其他需要纳米级洁净度的精密部件


这是一款面向半导体、液晶、HDD等制造领域的无损伤精密清洗设备,通过750kHz/950kHz超高频兆声波技术,在去除纳米级微粒的同时不损伤基板表面,是下一代超精密清洗的核心设备。

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