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日本kaijo在线式FPD基板超声波淋浴AD清洗机

日本kaijo在线式FPD基板超声波淋浴AD清洗机
专为超大型显示面板（G10.5代）设计的在线式兆声波喷淋复合清洗系统，通过950kHz高频超声波与优化喷淋的协同作用，在节水40%的同时实现无再附着的高精密清洗

产品型号：
厂商性质：经销商
更新时间：2026-01-30
访问量：11

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详细介绍

日本kaijo在线式FPD基板超声波淋浴AD清洗机

超声波淋浴AD清洗系统产品页面，面向第10.5代（G10.5）及以上大尺寸FPD基板的在线式精密清洗设备：

产品名称

クオーバ USシャワーAD（QUAVA US Shower AD）英文：QUAVA Ultrasonic Shower AD Cleaning System

核心规格

参数	规格
工作频率	950 kHz（兆声波频段）
对应基板尺寸	第10.5代（G10.5）及以上
处理宽度	3米（单根振子覆盖）
清洗方式	超声波 + 喷淋（Shower）同时清洗

主要特点

■ 超大宽幅单振子设计

单根3米振子即可覆盖G10.5代基板全幅（传统方案需多根拼接）
适用于大型FPD（平板显示）基板（如OLED面板、液晶面板）的在线清洗

■ 超声波-喷淋协同清洗

US-Shower复合清洗：兆声波（950kHz）与纯水喷淋同时进行
零再附着：喷淋立即带走剥离的颗粒，防止清洗下来的微粒再次附着在基板表面
超高精密清洗：实现纳米级颗粒的去除

■ 液体接触方式可选（AD技术）

AD（Air Dielectric/气压控制）技术：可选择液体接触方式
节水效果：相比传统US-Shower系统，纯水使用量可削减最多40%
减少运行成本和废水处理负荷

技术原理

普通US Shower	本设备（US Shower AD）
仅喷淋或仅超声波	超声波+喷淋同时作用
可能存在再污染风险	即时排液，零再附着
固定液接触量	可调液接触模式，节水40%

应用领域

G10.5 OLED/LCD面板制造：蒸镀前清洗、光刻后清洗
大型半导体晶圆：450mm晶圆清洗（如有需求）
太阳能电池板：大面积基板精密清洗

这是一款专为超大型显示面板（G10.5代）设计的在线式兆声波喷淋复合清洗系统，通过950kHz高频超声波与优化喷淋的协同作用，在节水40%的同时实现无再附着的高精密清洗，是下一代大尺寸面板制造线的核心清洗设备。

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日本kaijo在线式FPD基板超声波淋浴AD清洗机

产品名称

核心规格

主要特点

■ 超大宽幅单振子设计

■ 超声波-喷淋协同清洗

■ 液体接触方式可选（AD技术）

技术原理

应用领域

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