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日本kaijo高频超声波管状喷嘴型局部清洗机

日本kaijo高频超声波管状喷嘴型局部清洗机
这是一款小巧灵活的管式兆声波清洗系统,50W以下机型在日本国内无需高频申请,适合嵌入现有单片清洗设备,通过柔性管状喷嘴实现晶圆侧面、背面或局部的精密无损伤清洗。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-01-30
  • 访  问  量:11
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详细介绍

日本kaijo高频超声波管状喷嘴型局部清洗机

日本kaijo高频超声波管状喷嘴型局部清洗机

产品名称

クオーバ メガチューブ(QUAVA MEGATUBE)
英文:QUAVA Megasonic Tube Cleaning System

产品概述

这是一款搭载高频超声波管状喷嘴型单片刻洗设备(枚葉用)。
通过管状喷嘴喷射带有超声波的清洗液,实现新一代精密清洗。

主要特点

  • 侧面/背面照射兼容:可实现晶圆侧面和背面的定向清洗
  • 高自由度管状喷嘴:柔性管状设计实现均匀清洗
  • 继承QUAVA高性能:针对单片(枚葉)清洗优化

核心规格

参数规格
工作频率430 kHz / 950 kHz(兆声波频段)
输出50W(20110型)
最小输出1W
输出功率调节精度0.1W步进微调
电源AC100~240V 宽电压(单相50/60Hz)


信号发生器(発振器)特点

功能说明
远程控制可通过上位计算机(Host Computer)远程变更输出功率
精细调节0.1W步进微调,4位数字显示
软启动搭载Soft Start功能,防止启动冲击
免调整设计更换振动子时无需调整信号发生器
电源兼容AC100~240V 自由电源

信号发生器规格(20110型 / QT-003型)


项目规格
/最小输出50W / 1W
输出调节单位0.1W
频率430kHz / 950kHz(可选)
振荡方式PLL振荡、A模式
频率调整软件自动跟踪PLL方式
电源电压AC100~240V±10% 单相50/60Hz
消耗电流5A
显示7段4位数字显示
外围接口远程端子、外部输出控制、异常输出端子、模拟输出端子(4-20mA)、强制停止端子
保护电路输出异常报警、振动子异常报警、发热异常报警
外形尺寸218(W)×258(D)×138(H)mm
重量约5kg

振动子(振動子)特点

■ 管型喷嘴三种照射方式可选

  1. 前端照射方式:喷嘴直射
  2. 淋浴照射方式:广域喷洒式
  3. 侧面照射方式:侧向出液

■ 安装优势

  • 管式喷嘴设计:不限定振动子安装空间,易于嵌入现有设备

振动子规格


型号27222型17222型28222型
容许输入50W20W30W
搭配信号发生器20110(QT-003)型(同上)(同上)
工作频率430kHz950kHz430kHz
外壳材质PCTFE(聚三氟氯乙烯)PCTFEPCTFE
振动板材质Ta(钽)TaTa
耐热温度15~40℃(同上)(同上)
使用液量2.0~3.5 L/分1.0~2.0 L/分1.0~1.5 L/分
外形尺寸Φ57×90(H)mmΦ36×71(H)mm(同17222型)

应用场景

  • 半导体晶圆(枚葉)单片刻洗:针对单片晶圆的局部精密清洗
  • 侧面/背面清洗:标准兆声波难以达到的晶圆侧面清洁
  • 选择性清洗:通过管状喷嘴对特定区域进行定点清洗
总结:这是一款小巧灵活的管式兆声波清洗系统,50W以下机型在日本国内无需高频申请,适合嵌入现有单片清洗设备,通过柔性管状喷嘴实现晶圆侧面、背面或局部的精密无损伤清洗。


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