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日本tateyama等离子微细加工设备刻蚀装置TEP-01x 是一款独特的等离子刻蚀装置，专门针对硅以外的“非“半导体材料（如亚克力等塑料材料、SiO₂(石英·水晶)和LiNbO₃(铌酸锂)等压电材料、钛等难加工性材料）进行高平滑面·高深宽比的微细加工。
产品型号：TEP-01x/TEP-Xd厂商性质：经销商更新时间：2026-02-02访 问 量：9
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日本tateyama等离子微细加工设备刻蚀装置
日本tateyama等离子微细加工设备刻蚀装置
| 优势 | 说明 |
|---|---|
| "非"半导体材料刻蚀专业化 | 针对各种塑料、压电材料、难加工性材料优化 |
| 高刻蚀速率 | 实现高平滑面加工 |
| 安全·安心 | 不使用氯系气体 |
| 材料类别 | 具体材料 |
|---|---|
| 各种塑料材料 | 亚克力、聚碳酸酯、环烯烃树脂、氟系树脂等 |
| 压电材料 | SiO₂（石英）、LiNbO₃（铌酸锂）等 |
| 难加工性材料 | Ti（钛）等 |
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