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日本tateyama塑料压电基板等离子刻蚀装置除塑料制微流控芯片加工外，还适用于塑料材料、压电材料、难加工性材料的高深宽比微细加工等各种MEMS器件的试制。
产品型号：TEP-01x厂商性质：经销商更新时间：2026-02-02访 问 量：10
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日本tateyama塑料压电基板等离子刻蚀装置
日本tateyama塑料压电基板等离子刻蚀装置
| 优势 | 说明 |
|---|---|
| "非"半导体材料刻蚀专业化 | 针对各种塑料、压电材料、难加工性材料优化 |
| 高刻蚀速率 | 实现高平滑面加工 |
| 安全·安心 | 不使用氯系气体 |
| 材料类别 | 具体材料 |
|---|---|
| 各种塑料材料 | 亚克力、聚碳酸酯、环烯烃树脂、氟系树脂等 |
| 压电材料 | SiO₂（石英）、LiNbO₃（铌酸锂）等 |
| 难加工性材料 | Ti（钛）等 |
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