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日本tateyama院校研究桌上型等离子刻蚀设备

日本tateyama院校研究桌上型等离子刻蚀设备
适用于难加工材料的微细加工及MEMS的研究开发·试制加工

  • 产品型号:TEP-Xd
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-02-02
  • 访  问  量:9
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详细介绍

日本tateyama院校研究桌上型等离子刻蚀设备

日本tateyama院校研究桌上型等离子刻蚀设备

TEP-Xd —— 面向研发的桌面型等离子微加工设备

适用于难加工材料的微细加工及MEMS的研究开发·试制加工


产品特点

特点说明
桌面尺寸紧凑型设计,可放置于实验台上
与机型同等性能实现功能性材料的高速加工
低价格适合研究用或作为副机(Sub-machine)使用

概略

  • 继承概念,缩小体积:在保持TEP-01x概念的基础上,实现了桌面尺寸的紧凑型低价格机型
  • 灵活配置:适合作为研究室的导入设备或副机使用的等离子微加工装置
  • 操作便捷:可以像使用台式钻床、台式车床一样的感觉进行操作

刻蚀加工示例

1. 钛(Titanium)加工

  • 线宽:30μm
  • 间距(Space):30μm
  • 高度:8μm
  • 实现了钛金属的精细线条刻蚀

2. 石英(Quartz)加工

  • 实现了石英材料的高质量微细结构加工
  • 刻蚀侧壁垂直,表面平滑

与 TEP-01x 的区别

项目TEP-XdTEP-01x
尺寸桌面型(紧凑型)标准型(分体式,较大)
价格更低标准价格
用途研究室、副机、教学研发、试制、小规模生产
性能与机型同等标准性能
适用材料难加工材料、功能性材料塑料、压电材料、难加工材料

适用场景

  • 大学/研究机构的MEMS研究
  • 难加工材料(钛、石英等)的微细加工实验
  • 作为现有设备(主设备)的副机进行样品预研
  • 教学演示用设备
  • 预算有限但需要等离子刻蚀能力的实验室


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