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产品分类
日本 HORIBA 半导体数字液体质量流量控制器HORIBA LF-F/LV-F 系列采用创新珀尔帖元件冷却测量原理，区别于传统热交换方案，规避低沸点药液汽化沸腾干扰；支持微升至超低量程精准管控，适配低沸点、高粘度化学液体，LV-F 内置压电阀构成闭环流量控制，整机超洁净构造，广泛用于半导体湿法、光伏药液输送制程。
产品型号：LF-F/LV-F厂商性质：经销商更新时间：2026-07-15访 问 量：10
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日本 HORIBA 半导体数字液体质量流量控制器 日本 HORIBA 半导体数字液体质量流量控制器
1. 产品概述
LF-F / LV-F 为 HORIBA 面向精密液体输送开发的数字式液体质量流量设备：
LF-F：液体质量流量计，仅实现流量监测；
LV-F：液体质量流量控制器，搭载压电调节阀 + 闭环反馈回路，可设定并稳定控制液体流量。
产品核心采用珀尔帖电子冷却传感技术，不采用常规加热式热交换测量，从根源抑制低沸点有机化学品受热汽化、产生气泡，解决传统液 MFC 容易气堵、测量漂移痛点，适合半导体清洗、刻蚀药液、光伏制程特种化学品供给。
2. 核心工作原理
流量传感器集成毛细管、珀尔帖冷却元件与多点温度检测元件；液体流经时，传感器采集流动带来的温差信号换算质量流量。
LV-F 额外内置压电执行阀门，对比设定值与实测流量，实时微调阀门开度，形成闭环自动控制，不受上游压力波动影响。
3. 核心功能亮点
✅ 珀尔帖冷却式测量原理
消除低沸点化学品沸腾汽化风险，杜绝气泡造成测量失真，适配易挥发药液。
✅ 微升至超低流量量程覆盖
满足精密微量药液配比、微量前驱体输送工况需求。
✅ 兼容低沸点、高粘度液体材料
适用品类更广，适配半导体各类特种湿化学品。
✅ 超洁净流道结构
满足半导体高纯药液输送洁净等级要求，减少微粒析出污染晶圆。
✅ LV-F 集成压电阀闭环控制
响应迅速、流量稳定性强，具备优秀抗压力扰动能力。
✅ 数字化通讯接口
支持数字信号传输，易于接入 Fab 自动化控制系统。
4. 型号区分
LF-F：流量计，只监测流量，无调节阀；
LV-F：流量控制器，自带压电阀，可设定流量自动调节。
5. 典型应用场景
半导体湿法清洗、光刻、显影、蚀刻药液微量供给
光伏电池制造化学品精准配比输送
化合物半导体、功率器件前驱体微量进料
精密化工、实验室低沸点试剂定量输送
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