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产品分类
日本 HORIBA 半导体高性能压力流量控制器HORIBA D700T（D717T）属于 CRITERION 平台高性能压力非敏感 MFC，采用双阀控制算法，全量程≤100ms 响应；具备进出口压力不敏感特性，内置高级故障诊断；重复性可达 0.15% S.P，工作温度拓宽至 15~60℃，面向严苛优良半导体刻蚀、薄膜沉积制程。
产品型号：D700T厂商性质：经销商更新时间：2026-07-16访 问 量：12
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日本 HORIBA 半导体高性能压力流量控制器 日本 HORIBA 半导体高性能压力流量控制器
1. 产品概述
D700T（代表型号 D717T）是 HORIBA STEC CRITERION 系列高性能压力非敏感质量流量控制器，专为关键半导体工艺打造，采用基于压力测量控制架构，搭载双阀结构与流量控制算法。
⚠️ 关键区分：D700T 为单气体固定配置，无法在线切换气体与满量程；D700MG 支持在线组态。二者外形兼容，面向不同工艺需求选型。原生 EtherCAT 总线，适配晶圆制造干法刻蚀、ALD/CVD 等制程。
2. 核心优势特点
✅ 极速动态调节性能
全量程上升、下降、设定切换稳定时间≤100ms，工艺配比响应迅速，提升薄膜均匀性。
✅ 优异压力不敏感特性
对上下游压力波动具备强抗干扰能力，腔体压力波动工况下流量稳定性更强。
✅ 双阀 + 高级控制算法
优化阶跃响应、超调 / 欠调表现，适配脉冲工艺、高频切换工艺气体场景。
✅ 内置智能故障诊断体系
可在线监测压力传感器漂移、阀座泄漏、流量精度偏移，支撑预测性维护，减少非计划停机。
✅ 更高精度与重复指标
重复性≤0.15 % S.P；高精度版本精度可达 0.45% S.P，标准版 0.8% S.P。
✅ 拓宽工作温度区间
工作温度范围 15℃～60℃，满足设备内部高温安装环境。
3. D717T 关键性能规格
阀结构：常闭型压电执行器
建立时间：≤100ms（10~100% FS）；小流量区间最长 500ms
重复性：±0.15% S.P（10~100% FS）
精度（25℃）：标准 ±0.8% S.P；高精度选配 ±0.45% S.P
超调 / 欠调：取 ±2% S.P 或 0.5% FS 中较大值
阀座泄漏：＜0.02~0.1% F.S 或 0.015SCCM (N₂)，取较大值
耐压：1000kPa (A)
工作温度：15～60℃
4. D700T VS D700MG 核心选型区别
表格
项目D700TD700MG
气体 / 量程配置出厂固定单气体，不可在线更改EtherCAT 支持机台端在线切换气体、满量程
控制算法双阀高性能算法标准压力非敏感算法
适用场景成熟量产固定工艺，追求稳定研发、多工艺共线，需要灵活切换气体
5. 典型应用场景
优良逻辑、存储芯片干法刻蚀工艺
ALD、CVD、PVD 薄膜沉积量产线
SiC、GaN 化合物半导体制造设备
对流量重复性、压力抗扰动要求严苛的气相工艺
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