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PRODUCT CLASSIFICATION
产品分类
日本 HORIBA 半导体微流量压力流量控制器HORIBA D700uF 属于 CRITERION 平台微流量压强不敏感 MFC，专为≤5SCCM 微量工艺开发，可控至 0.025SCCM；采用专用低流量基准与内部流量计量技术，上升响应≤100ms；标配 PFA 喷嘴、内置状态监控，适配高深宽比刻蚀、ALD 等需要微量气体精准配比的优良半导体工艺。
产品型号：D700uF厂商性质：经销商更新时间：2026-07-16访 问 量：12
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日本 HORIBA 半导体微流量压力流量控制器 日本 HORIBA 半导体微流量压力流量控制器
1. 产品概述
D700uF（代表型号 D717uF）是 HORIBA STEC CRITERION 系列超微流量压力非敏感质量流量控制器，面向优良半导体高深宽比制程量身打造，专门覆盖满量程 5SCCM 及以下微量气体工况。
搭载全新开发内部低流量基准组件，突破传统 MFC 下限控制瓶颈；原生 EtherCAT 总线，机械安装尺寸与 D700MG/D700T 系列兼容，便于设备平台统一化设计与升级替换。
2. 核心优势特点
✅ 微量控制能力
可实现0.025SCCM稳定流量调节，满足 ALD、高深宽比干法刻蚀微量前驱体 / 工艺气需求，拓宽工艺窗口。
✅ 快速动态响应特性
上升响应≤100ms，多台 MFC 之间流量偏差精准管控，保障薄膜组分均匀性，提升生产良率与产能。
✅ 内置独立流量计量架构
出厂统一校准基准，批次一致性优异，长期运行流量稳定性可靠。
✅ PFA 耐腐蚀喷嘴配置
阀门关断性能优异，耐腐蚀性更强，有效降低微粒生成风险，减少腔体污染与非计划停机。
✅ 完整设备状态监控体系
持续采集阀状态、流量偏差、压力数据，支撑远程诊断与预测性维护，适配智慧工厂 Fab 运维方案。
3. D717uF 关键性能规格
标准满量程：5 SCCM（示例介质 O₂）
阀结构：常闭型压电执行器
建立时间：≤100ms
控制区间：0.5~100% F.S/ 1~100% F.S（依据下游压力区分）
精度（25℃）：±1% S.P（高段）；±0.1~0.2% F.S（低流量段）
重复性：±0.25% S.P
阀座泄漏：＜0.015SCCM (N₂)
检漏标准：≤5×10⁻¹² Pa・m³/s (He)
润湿材质：SUS316L、镍合金、PFA
耐压：620kPa (A)
4. D700 全系列产品定位区分
表格
型号流量层级气体在线组态典型适用场景
D700uF≤5 SCCM 超微流量不支持ALD、高深宽比刻蚀、微量掺杂工艺
D700T10SCCM~10SLM不支持成熟量产固定工艺，追求宽温域稳定
D700MG10SCCM~10SLM支持 EtherCAT 在线改气体 / 量程研发平台、多工艺共线柔性产线
5. 典型应用场景
优良逻辑、存储芯片高深宽比干法刻蚀
ALD 原子层沉积微量前驱体、氧化剂供给
化合物半导体、第三代半导体薄膜工艺
离子注入微量掺杂气体输送
面板、微纳光学薄膜气相沉积工艺
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