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PRODUCT CLASSIFICATION
产品分类
日本 HORIBA 半导体宽范围压力流量控制器HORIBA D700WR 属于 CRITERION 平台宽范围压敏型 MFC，搭载全新节流组件，实现0.1~100% FS 超宽流量区间精密控制；配备高可靠 CIP 压力传感器与耐腐 PFA 喷嘴，上升响应≤500ms，内置状态监测功能，单台设备可兼顾高低流量工艺，精简气路配置，适配半导体刻蚀、沉积多工况研发与量产产线。
产品型号：D700WR厂商性质：经销商更新时间：2026-07-16访 问 量：13
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日本 HORIBA 半导体宽范围压力流量控制器 日本 HORIBA 半导体宽范围压力流量控制器
1. 产品概述
D700WR（代表型号 D707WR）是 HORIBA STEC CRITERION 系列宽量程压力敏感型质量流量控制器，专为需要大范围流量调节的半导体工艺开发。
搭载全新设计节流元件，流量可控下限延伸至满量程0.1%FS，打破常规 MFC 低段控制局限；单台 MFC 可覆盖多种流量工况，能够减少设备气路搭载数量，简化气盘布局，降低设备硬件成本。原生 EtherCAT 总线，机械外形与 D700MG/D700T/D700uF 系列保持兼容。
2. 核心优势特点
✅ 0.1~100% FS 超宽量程精密控制
低至 0.1% 满量程稳定调节，一台控制器同时满足大流量冲洗与微量工艺配比，大幅提升工艺方案灵活性。
✅ CIP 高耐久压力传感单元
传感器架构稳定性优异，长期量产工况下故障率更低，减少设备停机维护频次与人工运维成本。
✅ 高性能 PFA 喷嘴结构
阀门关断性能、耐腐蚀性相比常规方案提升 10 倍，有效抑制微粒产生，降低腔体污染风险，保障晶圆良率稳定。
✅ 动态响应可控
上升建立时间≤500ms，适配大多数薄膜沉积、干法刻蚀稳态工艺需求，平衡控制稳定性与生产节拍。
✅ 内置全域状态监控系统
持续采集阀运行参数、压力、流量偏差等数据，支持远程上传，助力工厂实现预测性维护、智能故障预警。
3. D707WR 关键性能规格
阀类型：常闭压电执行器
控制区间：0.1~100% F.S/ 0.2~100% F.S（依据下游压力区分）
建立时间：上升≤500ms，下降≤3ms
精度（25℃）：±1% S.P；低流量段 ±0.0075~0.025% F.S
重复性：±0.3% S.P
超调 / 欠调：取 ±2% S.P 或 0.5% FS 较大值
阀座泄漏：典型＜0.025% FS
检漏标准：≤5×10⁻¹² Pa・m³/s (He)
润湿材质：SUS316L、镍合金、PFA、PCTFE
工作温度：15~45℃
供电：24VDC，EtherCAT RJ45 接口
4. CRITERION D700 全系列完整定位对照表
表格
型号流量特性控制下限压力类型气体在线组态核心定位
D700uF超微流量专用 0.025SCCM压力非敏感不支持≤5SCCM 微量 ALD、高深宽比刻蚀
D700T标准流量高性能0.2~0.5%FS压力非敏感不支持成熟量产，追求极速响应与宽温域
D700MG标准流量灵活型0.2~0.5%FS压力非敏感支持 EtherCAT 在线改气体研发平台、多工艺共线柔性产线
D700WR超宽量程通用0.1%FS压力敏感不支持同一通道高低流量复用，精简气路
5. 典型应用场景
逻辑、存储芯片干法刻蚀（高低流量交替工艺）
PVD/CVD 薄膜沉积、退火工艺
化合物半导体、第三代半导体气相制程
工艺研发平台，频繁变更流量窗口的实验设备
希望精简气路 MFC 数量、压缩设备体积的新型机台项目
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