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产品分类
日本 HORIBA 多气体多量程数字流量控制器HORIBA SEC-Z500X 是经典量产型数字质量流量控制器，支持现场在线切换工艺气体与满量程，无需拆机拆装；搭载可变 PID 控制系统，全量程 ±1.0% 设定点高精度，任意设定点响应≤1s；压电阀全金属结构，适配半导体、光伏、实验室研发等多领域，大幅减少备件种类，降低使用成本。
产品型号：SEC-Z500X厂商性质：经销商更新时间：2026-07-16访 问 量：12
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日本 HORIBA 多气体多量程数字流量控制器 日本 HORIBA 多气体多量程数字流量控制器
1. 产品概述
SEC-Z500X 是 HORIBA STEC 市场主流畅销数字质量流量控制器，面向柔性研发平台、多工艺量产设备开发。
具备的多气体 / 多量程现场组态能力，借助配套软件即可在线变更介质与量程，无需从气路管道拆卸设备；内置多项式曲线线性补偿算法，宽流量区间维持高精度控制，兼容半导体、光伏、光纤、实验室气相实验等多元化场景。
2. 核心优势特点
✅ ±1.0% 设定点全域高精度
内置多项式近似曲线补偿技术，HORIBA 原厂标准气源完成各类工艺气体标定，全程维持优秀线性精度，保障薄膜工艺组分稳定性。
✅ 可变 PID 高速响应系统
自适应可变 PID 算法，根据实时流量动态优化控制参数，任意流量阶跃设定响应时间≤1 秒，兼顾低流量平稳与大流量跟随性。
✅ 免拆机多气体 / 多量程切换
支持在线更改气体种类与满量程规格，设备无需拆除、无需返厂标定；单一机型覆盖多种工况，精简备件库存，缩短设备改造调试周期。
✅ 压电阀 + 全金属流体通路
压电执行器响应迅速、迟滞小；全金属润湿结构，适配绝大多数惰性、腐蚀性工艺气体，微粒释放低。
✅ 丰富通讯协议可选
同时支持模拟信号、DeviceNet、EtherCAT 工业总线，新旧设备平台均可直接兼容，选型灵活。
3. 典型适用工况领域
半导体制造：刻蚀、沉积、退火工艺辅助气体供给
光伏电池镀膜、扩散制程气体控制
光纤拉丝、涂层工艺气体配比
高校 / 企业实验室气相实验、催化研究
食品灭菌、材料热处理、精密气体混合系统
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