半导体锂电热处理专用 TEKHNE TK-100 在线微量露点分析仪

一、宽量程全域检测能力，覆盖三类制造全梯度露点工况

半导体、锂电、热处理行业对露点管控阈值差异极大，部分工序要求超干 - 100℃dp 极低露点，热处理普通保护气仅需常规区间监测，TEKHNE TK-100 在线露点仪统一实现 - 100℃dp~+20℃dp 全域覆盖，不用分型号采购多台检测设备。整机测量精度稳定维持 ±2℃dp，快响应传感结构可以实时捕捉管路微量水汽波动，不会出现数值滞后、反应迟钝的问题。依托品牌 40 年露点仪标定数据库，陶瓷电容传感元件经过上万组干湿气体实测优化，在长期 24 小时不间断在线运行工况下，不会出现零点漂移、精度衰减，适配无尘车间、密闭手套箱、高温炉管全年连续监测需求。所有出厂校准记录均可溯源国家标准，提交第三方验厂、体系审核时可直接出具合规计量文件，解决制造行业设备计量合规难题。

二、标准化工业信号输出，无缝对接产线自动化中控系统

现代化锂电、半导体工厂均采用 DCS、PLC 集中管控，TK-100 变送器搭载通用工业信号输出，露点测量数据可无损传输至中控操作台，实现全厂气体水分数字化集中管理。变送电路内置多级抗电磁干扰模块，车间变频器、高温加热设备、大功率风机产生的电磁杂波不会造成数值跳变，长距离管线布线测量数值依旧稳定。设备支持自定义高低露点报警阈值，一旦腔体、管路水分超标，同步向中控推送预警信号，可联动干燥机组、进气阀门实现联锁保护，无需人工现场值守。配套分体式数显仪表独立本地读数功能，即便中控系统检修停机，现场操作人员也能直观查看实时露点，兼顾自动化集中管控与现场就地观测双重需求。

三、灵活模块化采样系统，降低传感器损耗与长期运维成本

不同工艺气体杂质含量不同，长期直测极易损耗核心陶瓷传感器，TK-100 提供两种可自由切换的模块化采样方案，从硬件层面延长探头使用寿命。半导体、锂电手套箱内高纯氮气、氩气介质洁净无杂质，可直接将变送器螺纹接入管道直测，减少气路配件投入；热处理炉氮氢混合气、空压机压缩空气带有金属粉尘、润滑油雾，可加装原厂旁路采样套件。套件内置分级精密过滤芯，拦截固体颗粒与液态油污，搭配恒定流量控制阀稳定样气流速，避免气流冲击损伤敏感陶瓷层。滤芯更换成本低廉、操作简单，仅需定期更换滤芯即可保护高价传感探头，大幅削减工厂每年传感器更换、停机标定的运维开支。

四、分体式轻量化成套设计，适配多场景狭小安装空间

产线布局紧凑、安装空间有限是三大制造行业普遍痛点，TK-100 采用变送器、显示仪表分体成套设计，硬件布局高度灵活。检测探头体积小巧，标准 5/8 UNF 通用外螺纹适配绝大多数工业管道开孔，可安装在炉体侧壁、手套箱循环管路、洁净风柜狭小点位；数显控制仪表支持面板嵌入式安装，统一布置在中控操作台，规避高温、密闭、无尘隔离区域带来的操作不便。配套双层屏蔽专用传感线缆，走线不受车间设备干扰，新建厂房、老旧产线改造都能快速完成加装，无需大规模改动原有管路结构。整机出厂为完整成套设备，变送器、显示器、传感线缆一站式配齐，到货即可施工，省去分开采购配件的繁琐流程，缩短产线调试投产周期。

五、分行业针对性工艺适配，精准解决水分致产品不良难题

水汽引发的缺陷在三大行业表现各不相同，TK-100 可针对性匹配各工序监测逻辑，从源头管控品质风险。锂电生产中，手套箱超干环境一旦渗入水汽，会造成电解液水解，出现电芯鼓包、容量衰减、循环寿命下降，设备全天候在线监控箱体露点，及时预警密封泄漏；半导体、有机 EL 制程对水汽极度敏感，微量水分会腐蚀晶圆电路、损坏发光膜层，仪器持续监测洁净干燥空气与工艺载气，保障芯片、显示屏良率；热处理工序内，保护气水分超标会导致金属工件高温氧化、表面发黑，在线监测可实时监控干燥机运行状态，提前预警干燥失效，避免批量工件报废。单台仪器适配厂区多条不同工艺产线，降低企业多品类检测仪器采购成本。

六、原厂闭环服务体系，现货交付缩短项目等待周期

不少进口露点设备订货周期长达数月，耽误产线扩建、技改进度，TEKHNE TK-100 常备现货库存，可快速发货交付，保障项目按时投产。品牌搭建完整全周期技术服务链条，售前可安排工程师上门勘测现场，根据管路压力、气体介质、安装空间定制采样方案；设备到货后提供接线、标定、调试技术指导；每年可提供标准化校准维保服务，长期维持设备测量精度。同时支持特殊工况定制改造，针对高压管路、特种腐蚀性保护气调整变送硬件与输出参数，从选型、投用到后期维保形成完整服务闭环，是半导体、锂电、热处理行业微量水分在线监测高性价比解决方案。