日本山田 YAMADA 卤素光源 YP-250I 操作指南与使用要点

一、设备安装与连接

1. 选择合适位置 ：将 YP-250I 放置在稳固的工作台上，确保周围有足够的空间以便于操作和散热，避免靠近易燃物品及水源，同时要保证其在工作区域内便于观察和调整。
2. 电源连接 ：仔细检查设备的额定电压与电源电压是否匹配，确认无误后，将电源线牢固插入设备的电源接口以及相应的电源插座中，电源插座应具备良好的接地措施，以防止电击和设备损坏。

二、开机前检查

1. 外观检查 ：在每次使用前，仔细检查设备外壳是否有损坏、划痕或变形等情况，查看电源线有无破损、老化等现象，如有异常，应及时联系专业维修人员进行处理，切勿带病使用。
2. 灯泡状态 ：观察卤素灯泡是否完好，有无破裂、发黑等迹象，如有问题需及时更换灯泡，以保证检测效果。同时，确保灯罩安装紧密，无松动或脱落的情况，避免影响光的均匀性和安全性。

三、设备启动

1. 按电源键 ：在确认所有连接和检查无误后，按下设备的电源开关，设备将开始通电启动。此时，设备上的指示灯会亮起，表明设备已通电并处于待机状态。
2. 预热 ：卤素灯在启动后需要一定的预热时间，一般建议预热 2 - 3 分钟，让灯丝充分发热并达到稳定的发光状态，这样才能保证检测时的光强和光质符合要求。在预热过程中，避免频繁开关设备，以免影响灯丝寿命。

四、光强调节

1. 确定初始光强 ：根据晶圆的材质、尺寸以及检测要求，初步确定一个合适的光强范围。通过设备上的光强调节旋钮，缓慢调整旋钮位置，观察光强的变化，直至达到所需的初始光强值。在调节过程中，应注意光强变化对检测效果的影响，避免光强过高或过低导致检测结果不准确。
2. 微调光强 ：在实际检测过程中，可能需要根据晶圆表面的具体情况对光强进行微调。如果发现晶圆表面的反射光过强，导致一些细微的缺陷难以观察到，可适当降低光强；反之，若反射光较弱，缺陷轮廓不够清晰，则可适当增加光强。每次微调后，都要仔细观察检测效果，并进行相应的记录，以便总结出最佳的光强设置参数。

五、光源方向与角度调整

1. 确定检测区域 ：将待检测的晶圆放置在合适的位置，确保其表面平整且位于 YP-250I 的照明范围内。根据晶圆的大小和形状，确定需要重点检测的区域，以便调整光源的方向和角度。
2. 调整光源方向 ：通过设备上的光源方向调节装置，如旋转底座或万向节等，缓慢移动光源的位置，使光线能够均匀地照射到晶圆表面的检测区域。在调整过程中，要注意观察光线的分布情况，避免出现光照不均匀、有阴影或光斑等现象。
3. 调节光源角度 ：根据晶圆表面的反射特性和缺陷类型，调整光源的入射角度。一般来说，对于一些较小的、浅的缺陷，适当增大光源的入射角度，可以增强光线的反射对比度，使缺陷更容易被发现；而对于较大或较深的缺陷，可适当减小入射角度，以便更好地观察缺陷的形状和尺寸。在调整光源角度时，要使用专业的角度测量工具或参考设备上的角度刻度，确保调整的精度。

六、检测操作

1. 放置晶圆 ：在完成上述各项调整后，将晶圆平稳地放置在检测平台上，确保其固定牢固，防止在检测过程中发生位移或晃动。可以使用专用的晶圆夹具或真空吸附装置来固定晶圆，但要注意不要对晶圆表面造成损伤。
2. 开始检测 ：通过显微镜或其他检测设备观察晶圆表面在 YP-250I 光照下的情况。操作人员应仔细观察晶圆表面的光反射、折射以及阴影等现象，凭借专业知识和经验判断是否存在缺陷，如划痕、颗粒、凹坑、晶格缺陷等。在检测过程中，要保持眼睛与观察设备的适当距离，避免眼睛疲劳，同时要按照一定的顺序和路线进行全面、系统的检测，确保不遗漏任何可能存在的缺陷区域。
3. 记录与标记 ：一旦发现可疑的缺陷，应立即记录其位置、大小、形状以及类型等详细信息。可以使用坐标纸、标记笔或专业的检测软件来进行记录和标记。对于一些重要的缺陷，还可以拍摄照片或录像，以便后续的分析和研究。同时，要将检测结果与该批次晶圆的质量标准进行对比，判断其是否符合要求，并及时向相关人员反馈检测情况。

七、设备关闭与维护

1. 关闭设备 ：在检测工作完成后，先将光强调节旋钮调至最小，然后按下设备的电源开关，关闭设备。等待设备冷却一段时间（一般建议冷却 10 - 15 分钟），以避免设备内部热量积聚对灯丝和其他元件造成损害。
2. 清洁设备 ：定期对 YP-250I 进行清洁，使用干净柔软的布料擦拭设备外壳、灯罩以及显微镜镜头等部位，去除灰尘、污渍和指纹等。对于灯泡内部的灰尘，可以使用专业的清洁工具或压缩空气进行清理，但要小心操作，避免损坏灯丝和其他 delicate 部件。
3. 存放设备 ：在清洁完成后，将设备妥善存放在干燥、通风、无尘的环境中，避免阳光直射和高温潮湿的条件。可以使用设备自带的防尘罩或将其放置在专用的设备箱内，以保护设备免受外界环境的影响，延长设备的使用寿命。